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芯片研發生產用18.25兆超純水系統-脫氣+分配氮封系統

反滲透技術,是當今最先進和最節能有效的膜分離技術。其原理是在高于溶液滲透壓的作用下,依據其他物質不能透過半透膜而將這些物質和水分離開來。由于反滲透膜的膜孔徑非常小(僅為10A左右),因此能夠有效地去除水中的溶解鹽類、膠體、微生物、有機物等(去除率高達97%-98%)。反滲透是目前高純水設備中應用最廣泛的一種脫鹽技術,它的分離對象是溶液中的離子范圍和分子量幾百的有機物

我公司集多年工業水處理系統的工藝設計、設備制造、系統成套及膜應用技術的經驗,選取合理的工藝設置和設計參數,確保設備長期穩定運行。

(二)設備工藝說明

1)原水泵:主要功能:恒定系統供水壓力,穩定供水量。

2)自動加絮凝劑裝置:特點是能夠將溶液中的懸浮微粒聚集聯結形成粗大的絮狀團粒或團塊,在下道過濾中去除。

2)多介質過濾器:采用多次過濾層的過濾器,主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質、懸浮物等顆粒在20um以上的物質。系統可以進行反沖洗、正沖洗等一系列操作。主要功能:保證設備的產水質量,延長設備的使用壽命。

3)活性炭過濾器:采用椰殼活性炭,不但可以吸附電解質離子,還可以去除水中的色素、異味、大量生化有機物、降低水的余氯值及農藥污染物和三鹵化物。系統可以進行反沖洗、正沖洗等一系列操作。主要功能:保證設備的產水質量,延長設備的使用壽命。

4)軟化過濾器:水的硬度主要由鈣、鎂形成及表示,鈉離子交換軟化處理的原理是將原水通過鈉型陽離子交換樹脂,使水中的硬度成分Ca2+、Mg2+與樹脂中的Na+相交換,從而吸附水中的Ca2+、Mg2+,使水得到軟化,以達到高溫時不出現固體垢的目的。

5)自動加藥阻垢裝置:在很大的濃度范圍內有效的控制無機物結垢不與鐵鋁氧化物及硅化合物凝聚形成不溶物可防止反滲透膜面結垢,能提高產水量和產水質量降低運行費用。

6)保安過濾器:采用5um濾芯來截留預處理系統漏過的少量機械雜質。過濾器筒體采用SUS304材質,內裝PPF濾芯。該濾芯是一種效率高、阻力小的深層過濾元件。適用于含懸浮雜質較低(濁度小于5度)的水進一步凈化。主要功能:保證進入反滲透膜的水顆粒度小于5um

7)高壓泵:因為反滲透膜在工作過程中需要較高的壓力,高壓泵是反滲透系統的主要運作設備,為反滲透裝置的運行提供動力來源。本系統采購杭州南方高壓泵,材質為SUS304,具有外形美觀、占地面積小、噪音小、免維護、經久耐用的特點。高壓泵進出水口設置低壓、高壓保護開關,當進水壓力值低于設定值(0.05Mpa)時,停止高壓泵,防止高壓泵抽空損壞;當進水壓力高于設定值(1.5 Mpa)時,停止高于泵,保護高壓泵、膜組件不受到損壞。

7)反滲透系統:通過泵加壓,利用孔徑為1/10000μm(相當于大腸桿菌大小的1/6000,病毒的1/300)的反滲透膜(RO),使較高濃度的水變為低濃度水,同時將工業污染物、重金屬、細菌、病毒等大量混入水中的雜質全部隔離,從而達到純化水規定的理化指標及衛生標準由于RO反滲透技術生產的水純凈度是目前人類掌握的一切制水技術中最高的,潔凈度幾乎達到100%設備的核心部位為反滲透膜,我公司利用美國陶氏公司所生產的原裝進口聚酰胺(BW30)系列膜。該膜具有產水量高,脫鹽率的優點。

8)級間PH調節裝置:由于CO2不能通過RO膜分離,而且對產水電導率的影響較大,所以向一級產水中添加NaOH溶液,將一級產水中的微量CO2轉換成HCO3-,

HCO3-可以在二級反滲透過程中去除,從而達到降低產水電導率的目的。另外,由于反滲透產水顯酸性,適量加入堿液也可以起到調節產水PH值的作用。

93.EDI裝置

EDI裝置是應用有反滲透系統之后,取代混合離子交換床的成熟技術具有產水品質穩定,運行費用低,操作管理方便。占地面積小及無有害廢水排放等優點。超純水制備工藝的發展方向,已被全世界主要水處理工程公司所認證。自1986EDI技術工業化以來,已有數千套EDI投入支行,尤其在制藥、半導體、電力和光電等工業中得到了非常廣泛的應用。總的說有八大優點:

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